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分子泵维修配件主要包括以下几种:
1. 密封件:密封件是分子泵维修中常见的配件,用于确保泵的密封性能,防止气体泄漏。
2. 轴承:轴承是分子泵的关键部件,负责支撑和减少摩擦。
3. 导叶:导叶用于引导气体流动,其形状和数量对泵的性能有重要影响。维修时可能需要更换损坏或磨损的导叶。
4. 气体吸入口和排出口部件:这些部件负责气体的进出,维修时可能需要更换损坏的吸入口或排出口部件。